蝶形腔
- 频率： 2450MHz
- 沉积台直径： 80~100mm
- 观察窗： 8个
- 进出料口直径： 升降口进出料
- 铜台升降功能： 有
- 生长台升降功能： 有
- 生长台旋转功能： 有
- 产品参数
- 频率： 2450MHz
- 沉积台直径： 80~100mm
- 观察窗： 8个
- 进出料口直径： 升降口进出料
- 铜台升降功能： 有
- 生长台升降功能： 有
- 生长台旋转功能： 有
◆ 质量可靠，性能优越，漏率低
◆ 微波等离子体能量集中，形状可调节
◆ 生长台可升降、旋转
◆ 备零部件模块化，节省工艺成本
◆ 生长台有效直径100mm
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