MPCVD培育金刚石路在何方?
近年来,金刚石因其耐高温及高导热率等材料特性在半导体圈备受追捧,众多企业纷纷贴上“新材料”、“半导体材料”等标签。然而,金刚石作为半导体材料的应用却仍处于探索阶段。同时,金刚石作为光学材料、航天材料等领域的应用也正在被发掘。
无论何种应用,培育金刚石的市场需求都指向了更大尺寸的成品。目前,高温高压法(以下简称HPHT法)已经实现了制备3Ct金刚石,1Ct金刚石的技术则已经非常成熟并规模化量产。在1Ct培育金刚石的赛道,HPHT法在成本和产能方面都完全碾压化学气相沉积法(以下简称MPCVD法)。MPCVD法培育金刚石,目前只在净度、更大尺寸方面有优势。
实验室培育金刚石作为饰品的销售仍然是企业最快变现的途径。2024年春天,培育成品钻的售价略有回升,似乎稍微呈现出一丝“回春”现象。但回看毛胚钻的出货市场,培育钻石企业却仍然哀鸿遍野,富贵“卷”中求。

当前,1ct培育裸钻(D色,VVS)在各大电商、直播平台的售价约为2000元左右,由此可推测7*7mm毛胚钻的价格约为1000元以内。以一台6KW的微波等离子体化学气相沉积设备(简称MPCVD设备)的产能来估算,有效沉积直径为50-60mm,每批次32颗7*7*0.3mm晶种,平均沉积速率以10um/h为计,沉积时间约530小时,成品良率(D\E色以上)80%以上,电费0.9元/KWH,则每批次产值约为:32颗*80%*1000元=25600元,每批次耗电成本约为:530小时*12KW*0.9元/kwh=5724元,再加上场地租金、设备折旧、人工、运营、晶种等成本,企业几乎无利可图。

培育钻石价格走势(资料来源见图注)
即便如此,中国培育钻石企业却仍然增长。根据Statista预测,2023年至2025年,中国培育钻石毛坯钻市场规模将由255万克拉增长至400万克拉;年复合增速为25.24%。根据前瞻产业研究院预计,到2028年,中国培育钻石毛坯钻市场规模将达745.61万克拉。

2023-2025年培育钻石(毛胚钻)市场规模预测(单位:万克拉)
(资料来源见图注)
当然,行业洗牌也正在悄无声息地开始,一些企业逐渐退出市场,有的因为建厂初期规划不完善运营成本高,有的因为工艺不理想,良率低、产能低。
那么,还在坚持MPCVD法的企业,究竟路在何方?答案有且只有一个:降本增效。
一、提高产能
提高产能不是一句空话,最直接的是增加有效沉积面积、提高成品良率,也就是设备改造、工艺改善。改造设备,尤其是改造MPCVD的腔体,对企业来说或许是超纲题。问题似乎无解?放心,已经有作业可抄了,并且是高性价比的改造方案。
改造设备,对企业来说是最省成本的做法就是:只更换腔体,即可获得更大有效生长面积,原有设备的电控、气路、水路、机架均无需改动。深圳超磁机器人科技有限公司去年就推出了6KW/10KW通用的圆柱型腔体,企业使用的是6KW电源(一般生长台φ50-60mm),直接更换10KW电源继续使用(生长台φ80mm),6KW磁控头成功升级为10KW进口磁控头。
采购新设备也必须考虑将来技术迭代设备的延展性、产能。深圳超磁今年推出的蝶形腔6KW/10KW/15KW均通用,将来工艺升级到15KW时(生长台φ最大120mm),也只需更换微波源即可。
柱形腔 蝶形腔
提高等离子球的能量密度, 沉积速度也能显著提高产能, 腔体的气密性和品质有密切影响。沉积台上方的等离子球是沉积过程的能量来源,同时保证钼台上晶种的温度均匀性,确保腔体内所有晶种快速、均匀生长。一个腔体不单要做氦检、同时保压测试也是非常关键的。

微波等离子球形状及晶种温度参考图
二、规范现场管理,降低辅助设备能耗
MPCVD车间的辅助设备有:冷却循环系统、各种工艺气体制备及纯化系统、空压机组等。MPCVD车间的配套辅助设备能耗与生产设备能耗相当,能耗比约为1:1。辅助设备的配套方案及运行维护不当导致的支出,常常以难以察觉的方式“抵消”企业的利润。
三、提高自动化水平,降低人力成本
人力成本高昂是当下每个行业都存在的共同点,不少行业都推行了自动化,实验室培育钻石也不例外。超磁将机器人与MPCVD设备相结合,组成MPCVD自动化产线。该产线应用双臂机器人完成自动上下料、清洗腔体等工作。在后台软件平台的调度下,每台机器人最多可“管理”30台MPCVD设备,实现24小时不间断作业。

MPCVD自动化产线参考图
降本增效是企业转变管理模式的开始,也是持续进行的过程,更是企业应对市场变化的需要。生产力提升、管理提升、成本控制,是企业发展的永恒主题。培育钻石企业也一定能在市场的教育和洗礼中走出来,逐渐实现规模化、精细化、智能化的高质量的发展,期待在半导体、光学等领域的规模化应用。