超磁MPCVD钻石培育设备
发表时间：2023-04-14 15:10:01
MPCVD是 Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition的简写，中文名称叫微波等离子体化学气相沉积，MPCVD设备作为优异的钻石培育设备，其工作原理为通过微波源产生微波，在微波场的作用下，反应气体被激发为等离子体状态。等离子体是部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质。等离子体呈球状形成于金刚石衬底上，利用等离子体的高温让衬底可以加热到一定的温度。
使用MPCVD设备，含碳气体被泵入真空室，可使钻石以微米级每小时的速率沉积，生长为钻石结晶。钻石的最终大小取决于允许生长的时间。由于物理特性一摸一样，培育钻石同样接收和天然钻石一样的GIA证书认证。同时，人造钻石、金刚石目前已广泛应用于金刚石材料、复合热沉积、精密刀具刀头、光学窗口、功率电子器件等领域。
根据市场需求，超磁机器人自主研发了多款MPCVD设备。超磁的MPCVD设备系统优势如下：
♦ 采用定向微波耦合，微波能量均匀，没有污染；
♦.微波加热样品台效率高；
♦ 最大功率达到6KW、10KW，并且长时间在该功率稳定工作；
♦ 样品台最大散热能力可达15KW以上；
♦.高精度气体质量流量计；
♦ 高纯度石英窗,高功率高密度等离子体，减少了硅的析出；
♦ 晶体生产面积大；
♦.SUS316不锈钢反应腔，能耐高温耐腐蚀；
♦ PID控制，腔体压力稳定；
♦ 简捷的人机交互界面。
超磁的MPCVD设备控制软件完全自主研发，I/O工作状态、工艺记录、工艺监测、配方、操作界面、自动参数等界面简明清晰。
我司不仅生产MPCVD设备，同时也可为客户提供进口微波源、定制腔体、电控程序、远程控制软件，提供装机等技术服务，欢迎到我司参观咨询，或致电了解更多。
